吉姆西半导体获得一种挡水板等专利防止对晶圆的二次污染
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星空体育app下载入口:吉姆西半导体获得一种挡水板等专利防止对晶圆的二次污染
- 作者: 星空体育app下载入口
- 发布时间: 2026-01-18 01:12:32
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金融界2025年7月28日音讯,国家知识产权局信息数据显现,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司获得一项名为“一种挡水板、清洗设备及化学机械抛光设备”的专利,授权公告号CN223146869U,请求日期为2024年10月。
专利摘要显现,本实用新型触及一种挡水板、清洗设备及化学机械抛光设备。该挡水板沿一圆弧轨道纵长延伸,以在挡水板的内侧构成一用于包容晶圆的包容空间,在挡水板的宽度方向上挡水板的半径逐步增大或减小;挡水板的内侧标明发生有多个导流槽,每一导流槽均由挡水板的一端延伸至挡水板的另一端。如此,因为挡水板相对本身轴向呈歪斜状况,使得溅射到挡水板内侧外表上清洗液可以横向活动至导流槽内,再因为挡水板呈圆弧状,使得导流槽内的清洗液可以沿导流槽向挡水板的两头活动,然后防止了带着污渍的清洗液堆积在挡水板的内侧外表而滴落至晶圆上,从而防止了对晶圆的二次污染。
天眼查资料显现,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司,成立于2014年,坐落无锡市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本36715.6957万人民币。经过天眼查大数据分析,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司共对外出资了33家企业,参加招投标项目206次,产业线条,此外企业还具有行政许可44个。
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